近日，臺積電在歐洲舉辦了一場技術論壇，吸引了眾多行業(yè)目光。在會上，該公司負責業(yè)務開發(fā)及全球業(yè)務的資深副總經(jīng)理張曉強發(fā)表了重要觀點，他透露，臺積電目前并未計劃在先進制程中引入High NA EUV技術。
張曉強進一步指出，臺積電最新推出的1.4nm級邏輯制程A14，即便沒有采用High NA EUV圖案化設備，其性能提升依然顯著。這一成果無疑增強了臺積電在先進制程技術領域的信心。
他強調，臺積電的技術團隊正致力于通過優(yōu)化工藝，充分發(fā)揮Low NA EUV的潛力，以期在現(xiàn)有技術路徑上取得更多進展。只要這一方向能夠持續(xù)取得突破，臺積電就無需在量產(chǎn)中引入成本高昂的ASML High NA EUV系統(tǒng)。
值得注意的是，在先進制程技術領域，英特爾曾是對High NA EUV技術最為積極的倡導者之一。然而，即便是英特爾，在實際生產(chǎn)中應用High NA技術時也表現(xiàn)得相對謹慎。據(jù)悉，與臺積電A14同等名義制程的Intel 14A就提供了使用或不使用High NA的兩種選項，這進一步體現(xiàn)了業(yè)界對于High NA EUV技術的審慎態(tài)度。
